更新時間：2025-03-19
日本CANON ANELVA皮拉尼真空計（鎳絲） M-351PG該型號使用 Ni 絲來提高耐腐蝕性，并與 RIE 和 CVD 等硬質工藝設備兼容。提高耐腐蝕性、使用Ni 絲等重現性好，價格低它可以測量 5×10-2 Pa 到大氣壓
日本CANON ANELVA皮拉尼真空計（鎳絲） M-351PG
日本CANON ANELVA皮拉尼真空計（鎳絲） M-351PG
該型號使用 Ni 絲來提高耐腐蝕性，并與 RIE 和 CVD 等硬質工藝設備兼容。
提高耐腐蝕性、使用
Ni 絲等
重現性好，價格低
它可以測量 5×10-2 Pa 到大氣壓
它可以測量 5×10-2 Pa 到大氣壓
| 型 名 | M-351PG-SP （Ｎｉフィラメント仕様）（セットポイント付タイプ） |
|---|---|
| 測定圧力範囲 | 5×10-2 ～ 1×105 （Pa） |
| 精度（Pa） | ±50％：5×10-2 ～ 1×10-1 ±15％：1×10-1 ～ 1×104 ±50％：1×104 ～ 1×105 |
| 再現性 | ±2 ％?。骸?×10-1 ～ 1×104 Pa |
| 入力電圧 | DC+14 ～ 30 V |
| 消費電力 | 2 W |
| アナログ出力 | 0 ～ 10 V |
| ゲージ認識抵抗値 | 13 KΩ（D-sub5-9番ピン間） |
| セットポイント | 2接點出力（1 A 30 V,DC） |
| インターフェース | － |
| 入出力コネクタ | D‐sub9ピン |
| 最大ケーブル長 | 200 ｍ（0.34 mm2）対応可能＊1 |
| 使用溫度範囲 | 5 ～ 60 ℃ |
| 保存溫度範囲 | -20 ～ 70 ℃（非動作時） |
| ベーキング溫度 | ＜＋150 ℃（Oリング仕様、ゲージヘッドのみ） ＜＋300 ℃（メタルシール仕様、ゲージヘッドのみ） |
| 許容過負荷圧力 | 1 MPa（継手形狀NPTに限る、不活性ガスに限る、絶対圧） |
| 適合ピラニセンサ型名 | MP-2 |
| フランジ形狀 | NW16、NW25、1/8NPT |
| センサー材質（主要部） | ピラニフィラメント：ニッケル センサーチューブ：ステンレス 導入端子絶縁部：コバールガラス＋Al2O3コート |
| 対応 | CEマーキング、RoHS、IP40 |
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